เครื่องลิโทกราฟี เครื่องเรียงหน้ากาก เครื่องแกะลายด้วยแสง

ข้อมูลจำเพาะ

1. พื้นที่รับแสง: 110 มม. × 110 มม.
2. ★ ความยาวคลื่นแสง: 365 นาโนเมตร
3. ความละเอียด: ≤ 1ม.
4. ความแม่นยำในการจัดตำแหน่ง: 0.8ม.
5. ช่วงการเคลื่อนที่ของตารางการสแกนของระบบจัดตำแหน่งจะต้องเป็นไปตามอย่างน้อย: Y: 10 มม.
6. หลอดไฟด้านซ้ายและขวาของระบบปรับตำแหน่งสามารถเคลื่อนที่แยกกันในทิศทาง X, y และ Z, ทิศทาง X: ± 5 มม., ทิศทาง Y: ± 5 มม. และทิศทาง Z: ± 5 มม.
7. ขนาดหน้ากาก: 2.5 นิ้ว, 3 นิ้ว, 4 นิ้ว, 5 นิ้ว;
8. ขนาดตัวอย่าง: ชิ้นส่วน, 2", 3", 4";
9. ★ เหมาะสำหรับความหนาของตัวอย่าง: 0.5-6 มม. และสามารถรองรับชิ้นตัวอย่างหนาสูงสุด 20 มม. (กำหนดเอง)
10. โหมดการเปิดรับแสง: จับเวลา (โหมดนับถอยหลัง);
11. ความไม่สม่ำเสมอของการส่องสว่าง: ＜ 2.5%
12. กล้องจุลทรรศน์ปรับแนว CCD แบบสนามคู่: เลนส์ซูม (1-5 เท่า) + เลนส์วัตถุกล้องจุลทรรศน์
13. จังหวะการเคลื่อนที่ของหน้ากากที่สัมพันธ์กับตัวอย่างจะต้องเป็นไปตามนี้อย่างน้อย: X: 5 มม.; Y: 5 มม.; : 6º
14. ★ ความหนาแน่นของพลังงานที่ได้รับ: > 30MW / cm2
15. ★ ตำแหน่งการจัดตำแหน่งและตำแหน่งการรับแสงทำงานใน 2 สถานีและมอเตอร์เซอร์โวทั้งสองสถานีจะสลับโดยอัตโนมัติ
16. แรงกดสัมผัสแบบปรับระดับช่วยให้สามารถทำซ้ำได้ผ่านเซ็นเซอร์
17. ★ ช่องว่างการจัดตำแหน่งและช่องว่างการเปิดรับแสงสามารถตั้งค่าแบบดิจิทัลได้
18. ★ มีอินเทอร์เฟซการพิมพ์ระดับนาโนและอินเทอร์เฟซแบบใกล้ชิด
19. ★ การใช้งานหน้าจอสัมผัส
20. ขนาดโดยรวม: ประมาณ 1,400 มม. (ยาว) 900 มม. (กว้าง) 1,500 มม. (สูง)