เครื่องพิมพ์หิน Mask Aligner เครื่องแกะสลักภาพ

ข้อมูลจำเพาะ

1. พื้นที่รับแสง: 110 มม. × 110 มม.
2. ★ความยาวคลื่นแสง: 365nm;
3. ความละเอียด: ≤ 1m;
4. ความแม่นยำในการจัดตำแหน่ง: 0.8m;
5. ช่วงการเคลื่อนไหวของตารางการสแกนของระบบการจัดตำแหน่งจะต้องเป็นไปตามอย่างน้อย: Y: 10 มม.
6. หลอดไฟด้านซ้ายและขวาของระบบการจัดตำแหน่งสามารถเคลื่อนที่แยกกันในทิศทาง X, y และ Z, ทิศทาง X: ± 5 มม., ทิศทาง Y: ± 5 มม. และทิศทาง Z: ± 5 มม.;
7. ขนาดหน้ากาก: 2.5 นิ้ว, 3 นิ้ว, 4 นิ้ว, 5 นิ้ว;
8. ขนาดตัวอย่าง: ส่วน 2 ", 3", 4 ";
9. ★ เหมาะสำหรับความหนาของตัวอย่าง: 0.5-6 มม. และสามารถรองรับชิ้นตัวอย่างขนาด 20 มม. ได้สูงสุด (กำหนดเอง);
10. โหมดการรับแสง: เวลา (โหมดนับถอยหลัง);
11. ความไม่สม่ำเสมอของแสง: <2.5%;
12. กล้องจุลทรรศน์การจัดตำแหน่ง CCD สนามคู่: เลนส์ซูม (1-5 เท่า) + เลนส์ใกล้วัตถุกล้องจุลทรรศน์;
13. จังหวะการเคลื่อนไหวของหน้ากากที่สัมพันธ์กับตัวอย่างจะต้องเป็นไปตาม: X: 5 มม. เป็นอย่างน้อย ยาว: 5 มม.; : 6°;
14. ★ ความหนาแน่นของพลังงานที่ได้รับสัมผัส: > 30MW / cm2,
15. ★ ตำแหน่งการจัดตำแหน่งและตำแหน่งการรับแสงทำงานในสองสถานี และเซอร์โวมอเตอร์สองสถานีจะเปลี่ยนโดยอัตโนมัติ
16. แรงกดสัมผัสที่ปรับระดับช่วยให้มั่นใจในการทำซ้ำผ่านเซ็นเซอร์
17. ★ ช่องว่างการจัดตำแหน่งและช่องว่างการรับแสงสามารถตั้งค่าแบบดิจิทัลได้
18. ★ มีอินเทอร์เฟซสำนักพิมพ์นาโนและอินเทอร์เฟซใกล้เคียง
19. ★ การทำงานของหน้าจอสัมผัส;
20. ขนาดโดยรวม: ประมาณ 1400 มม. (ยาว) 900 มม. (กว้าง) 1500 มม. (สูง)